石墨热场是单晶炉的核心部件，采用高纯石墨原料制备而成的高温加热设备，主要用于在高温环境下熔化硅料并控制单晶生长温度。

一、石墨热场的工作原理

石墨热场工作原理是基于石墨物理特性，利用石墨高导热性使热量快速均匀传递。

石墨热场是单晶炉关键中的关键，直接影响着单晶的质量和产量。其结构通常包括石墨压环、保温盖、保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托盘、坩埚托杆、电极、加热器、导流筒和石墨螺栓等部件，通过以上部件协同工作从而形成封闭热循环系统，确保炉内形成稳定、均匀的高温环境，以满足单晶硅生长要求。

二、石墨热场的特性优势

高导热性：石墨热场具有高导热性和良好的热稳定性，能使热量迅速传递到处理区域，实现快速升温。

均匀加热：石墨热场能迅速使热量传递均匀，可有效避免局部过热或过冷现象，能更好的为硅片生产提供稳定热环境，提升产品良率。

机械强度：在安装过程中，石墨热场不可避免会受到外力的作用，如安装时的夹紧力、热膨胀产生的应力等，石墨的机械强度使其能够在这些应力下保持稳定，不易破裂或损坏。

长期稳定性：石墨熔点非常高，一般在 3000℃以上，这使得它在高温环境下（如单晶硅生产）不会因为高温而软化、变形或熔化，保持结构稳定，确保了热场部件的长期稳定性。

化学稳定性：在高温下，石墨热场不易与化学物质发生反应，能承受多种腐蚀性气体与液体侵蚀，这种化学稳定性确保了石墨热场的稳定运行，减少了设备更换频率与维护成本。

成本效益：石墨是一种丰富的自然资源，因此，使用石墨热场可以在保证性能的前提下，降低生产成本。

总的来说，石墨热场凭借其特性优势，已成为单晶炉高温设备的核心部件，同时广泛应用于半导体、光伏等领域。钲铖泽睿可根据客户需求提供定制化石墨热场设计方案，公司拥有成熟的生产技术团队，欢迎联系获取专业技术支持。

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