半导体用石墨坩埚由高纯度石墨原料制备而成，具有耐高温、抗腐蚀、抗氧化等特性，这些特性主要源于石墨原料和生产工艺。

1. 石墨坩埚优点

‌耐高温‌：石墨坩埚的耐高温性能突出，可长时间在高温环境下稳定工作，满足半导体高温环境要求。

导热性：石墨坩埚导热性能优异，能快速将热量从外部设备传导至内部半导体元件，实现均匀加热。

‌抗腐蚀：石墨坩埚对酸性、碱性溶液有较强耐受性，化学稳定性好，能有效保证单晶硅等材料的纯净度。

机械强度：石墨坩埚机械强度高，能够承受一定的冲击和热应力，有效保护半导体元件降低生产能耗。

2. 石墨坩埚缺点

‌抗氧化性：石墨坩埚抗氧化性不足，在高温氧化环境中易损耗，因此，需配合保护措施（表面涂层技术）解决，以在坩埚表面形成致密保护层，隔绝与氧气接触，延长使用寿命。

温差冲击‌：石墨坩埚加热或冷却过程中需控制温度变化速率，过快升温或降温均会导致热应力过大，引发其裂纹或结构损坏。

机械冲击：石墨坩埚虽具有较高机械强度，但其材质为脆性材料，受外力冲击时仍易产生裂纹或破损。

‌成本较高‌：石墨坩埚‌的原料成本及加工工艺，相比其他材质坩埚进一步增加了成本。

以上仅为石墨坩埚的核心优点与缺点。在选择使用石墨坩埚时，建议根据实际应用场景选择规格、型号和材质，以确保石墨坩埚性能符合需求。

上海钲铖泽睿科专业生产石墨加工和真空元件厂家，可根据客户需求定制石墨制品加工,提供石墨制品设计加工及真空泵相关元件销售一站式解决方案,满足各种行业需求,欢迎联系13701920291！