| 型号 | ZQ-600W | ZQ-1600W |
| 容量(slm) | 300-600 | 1000-1600 |
| 尺寸(mm) | 700x700x1850 | 850x850x2080 |
| 重量(kg) | 230 | 270 |
| 认证标准 | CE、SEMI2 | |
| 适用气体 | HCL，HF，CI2，BCI3 | |
| SiH2CL2，HBr，POCI3，NH3 etc… | ||
| 气体去除率 | 99%以上 | |
| 电功率 | AC380V，3phase | AC380V，3phase |
| 3KW（Max），2KW（Normal） | 3KW（Max），2KW（Normal） | |
| 氮气 | 1/4 Inch 1port，4~7 Kg/cm2，0-100 slm | |
| 城市水 | 4~7 kg/cm，2~5L/min |
4~7 kg/cm，3~7L/min
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| DN15，PVC-U |
DN15，PVC-U
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| 溢流口 |
DN25，PVC-U
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| 废水排放 |
DN25，PVC-U
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| 气体入口 |
KF50、2 port，PVC-U
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| 气体出口 |
DN100，PVC-U
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行业应用
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