| 型号 | ZQ-HB-50D | ZQ-HB-100D |
| 容量(slm) | 50L+50L | 100L+100L |
| 尺寸(mm) | 1450x1200x2050 | 1450x1200x2050 |
| 重量(kg) | 615 | 715 |
| 认证标准 | CE、SEMI2 | |
| 适用气体 | CF4，SF6，C4F8，CHF3，NF3 etc… | |
| 气体去除率 | 99%以上 | |
| 电功率 | 15KW（AC380，3phase，50 HZ） | |
| 氮气 | 1/4 Inch 1port，4~7 Kg/cm2，0-100 slm | |
| PCW |
Φ50.5卫生卡盘接口、 4~7 Kg/cm2、0-30 slm
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| 气体入口 | KF40，-50~-100 mmH20 | |
| 气体出口 | KF40，-50~-100 mmH20 | |
行业应用
应用于半导体行业、太阳能电池行业、实验室、研究所等废气净化处理。欢迎来电咨询：13701920291
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