单晶炉石墨热场是一个相对复杂而又微妙的系统，它的好坏直接关系到是否能生长出高质量的单晶。

一、单晶炉石墨热场的主要部件

1. 核心部件

‌ 石墨坩埚 （三瓣埚）‌：石墨坩埚是热场的核心部件，主要用于熔化多晶硅并支撑单晶硅的生长。石墨坩埚通常采用等静压高纯石墨制成，内壁常涂碳化硅SiC涂层以延长寿命。

‌ 石墨托杆 ‌：石墨托杆通常与托盘一起使用，其主要功能在于稳固支撑石墨坩埚，以保证坩埚的稳定旋转和晶体生长的均匀性。

‌ 石墨托盘：石墨托盘其主要功能在于确保坩埚的稳定性。

‌ 石墨压环：防止石墨坩埚漏硅的密封装置。 ‌

‌ 石墨螺栓：连接各部件并保持结构稳固。 ‌

2. 保温与防护部件

‌ 上/中/下保温罩：保温罩分为上保温罩、中保温罩和下保温罩。它的作用是加强保温，减少热量散失并保护其他部件。

‌ 导流筒：引导硅的流动方向，确保熔体在结晶过程中分布均匀。

‌ 保护板/套：防止漏硅并保护金属部件。 ‌

3. 加热与传动部件

‌ 石墨加热器：石墨加热器是热场中很重要的部件，温度可达1600℃以上。

‌ 石墨电极：石墨电极需承受超高电流密度，因此采用高纯石墨加工而成，以传导热量至坩埚，维持炉内温度均匀。

二、单晶炉石墨热场的重要性

在热场设计中，石墨材料的高效导电、耐高温、高机械强度和化学稳定性的特性，是其热场核心部件的理想材料选择。

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