扩散泵中的“扩散”是指气体分子在泵内自由运动，向低密度的区域扩散的现象‌。在扩散泵中，液态金属或有机物通过辐射加热产生分子束、离子束等高能量粒子，这些粒子将气体推向泵出口，从而实现抽气‌。

扩散泵主要由泵体、扩散器、电机及传动装置、冷却器等组成。其中，扩散器是扩散泵的核心部分，通过耐高温金属材料制成。扩散器内的工作介质一般为液态金属或有机物，通过辐射加热产生分子束、离子束等高能量粒子，将气体推向泵出口‌。

扩散泵广泛应用于半导体制造、真空热处理、石油化工、航空、航天科技等领域。其特点是抽气速度快、稳定性好、无油污染、使用寿命长等‌。在半导体行业中，扩散泵被广泛应用于制造芯片的过程中，通过快速抽气达到真空的目的，保证制造过程的洁净。

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