| 型号 | ZQ-2600HC |
| 容量(slm) |
2600（Removal gas+Utility）
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| 尺寸(mm) |
1200x1100x1950
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| 重量(kg) | 680 |
| 认证标准 | CE、SEMI2 |
| 工作温度 |
800~900℃
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| 进气口 |
KF 50 flange，2 port
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| 出气口 |
ISO-100 flange，1 port
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| 柜式抽气口 |
100mm pipe, -40~-70mm H20
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| 电功率 |
25KW（AC380，3phase，50 HZ）
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| 城市水 |
1/2 Inch 1port，4~7 Kg/cm2 Total：4~8LPM
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| PCW |
Φ50.5卫生卡盘接口，4~7 Kg/cm2
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60-90PLM
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| 压缩空气 |
气泵
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60~1000 LPM
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| 氮气 |
1/2 Inch 1port，4~7 Kg/cm2
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1~200 LPM
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废水排放口
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重力排40A PVC接头或者动力排DN25 PVC接头 |
行业应用
应用于半导体行业、太阳能电池行业、实验室、研究所等废气净化处理。欢迎来电咨询：13701920291
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