石墨毡是半导体行业单晶炉中关键的热场材料，主要用于保温隔热、优化温度梯度并保护炉体。

一、石墨毡为何能成为单晶炉核心部件

1. 材料特性优势

- 耐高温：可长期稳定在2000℃以上高温，远高于单晶硅生长的1450℃需求。非氧化气氛下，可达3000℃。

- 热导率：0.05-0.3 W/m·K，远低于金属材料（如铝的200 W/m·K），有效减少热场波动，确保晶体生长稳定性。

- 化学惰性：对大多数熔融材料呈现高化学惰性，特别适合晶体生长环境。

2. 提升单晶品质

- 保温隔热：石墨毡包裹坩埚和加热器，能有效减少热量散失。同时，通过调整石墨毡厚度和分布，可控制熔体轴向和径向温度梯度。

- 保护炉体：石墨毡的多孔结构能有效吸收热膨胀应力，避免坩埚因温度骤变破裂。

- 寿命延长：石墨毡还具有良好的抗热震性能，能在极端环境下保持较长的使用寿命，降低生产成本。

二、实际行业应用

在单晶炉设计中采用全石墨毡（即全部使用石墨毡作为保温材料）方案，可以有效降低氧化物和非金属杂质含量，从而提高单晶质量和成品率。

三、石墨毡选购

在选购石墨毡时，先要明确使用需求及应用场景，结合成本因素，根据预算范围选择合适的石墨毡。

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