半导体设备用碳化硅SIC涂层石墨制品，可改变半导体石墨件表面结构、化学组成，赋予其更优异性能，如耐磨、耐腐蚀、耐高温、低摩擦系数等。

一、碳化硅SIC涂层石墨制品

石墨优异的热导率和稳定性使得其在半导体设备中成为材料的理想选择，但是如果仅仅只是纯石墨的话，也会面临一些问题，比如石墨会出现腐蚀掉粉现象，这不仅大大降低石墨件的使用寿命，同时也会对芯片造成污染。

而涂层技术就能够解决这一问题，通过在石墨表面涂刷涂层，可以使之石墨表面粉体固定、增强热导率、均衡热分布。

二、石墨涂层材料的选择

常用的防护涂层材料主要有以下几种：

1、玻璃涂层：B2O3、P2O5、ZnO等；

2、陶瓷涂层：SiC、ZrB2、BN等；

3、金属涂层：Pt、Ir、Hf、Mo等；

那么，我们为什么要选择碳化硅SIC涂层？

碳化硅SIC具有热力学稳定性、良好的导热性、抗氧化、耐腐蚀，与石墨材料相近的热膨胀系数等诸多优异性能，因此是石墨件表面涂层的首要考虑材料。

钲铖泽睿生产的SiC涂层石墨件，通过利用硅与碳直接反应并结合，将特定形状的石墨制品完全包裹，从而形成一层坚硬的SiC保护层。该保护层会与石墨件紧密结合，显著提升其耐高温、抗溶蚀和抗氧化性能，同时确保了其表面的致密性，无孔隙存在。

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